- Thể tích buồng: 23 lít
- Nhiệt độ max: 200ºC
- Độ đồng đều nhiệt độ tại 100ºC: 1,5ºC
- Độ chính xác nhiệt độ: ± 0.1ºC
- Độ chân không cho phép khi kết thúc: 1x10-2 mbar/torr
- Độ rò rỉ tối đa: 1x10-2 bar/h (torr/h)
- Thể tích buồng: 115 lít
- Nhiệt độ max: 200ºC
- Độ đồng đều nhiệt độ tại 100ºC: 1,5ºC
- Độ chính xác nhiệt độ: ± 0.1ºC
- Độ chân không cho phép khi kết thúc: 1x10-2 mbar/torr
- Độ rò rỉ tối đa: 1x10-2 bar/h (torr/h)